Gefäß zur einseitigen Bearbeitung eines Substrats
de Doncker, Rik W.; Butschen, Thomas
(2014)
Patent (Publication of the patent application)
Einrichtungen
- Lehrstuhl für Stromrichtertechnik und Elektrische Antriebe [614510]
Identifikationsnummern
- RWTH PUBLICATIONS: RWTH-2023-04408